近日，公司子公司常州捷佳創(chuàng )精密機械有限公司完全自主研發(fā)的電子級硅芯清洗設備成功下線(xiàn)，將于近日部署至某合作客戶(hù)處。 

此款硅芯清洗設備是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蝕清洗設備，用于清洗硅芯表面有機物、氧化物和金屬離子，采用堿洗、酸洗、超聲、機能水等工藝，產(chǎn)品可用于高純光伏硅片和半導體硅片的生產(chǎn)制程，清洗后總表金屬≤0.2ppbm。

 主要技術(shù)特點(diǎn)：

1. 材料升級：與德國Rochling合力開(kāi)發(fā)耐氧化，耐高溫材料用于槽體制作。

2. 工藝升級：結合國外成熟工藝與機能水清洗工藝，清洗能力更強。

3. 內部潔凈升級：內部流場(chǎng)的全新設計，搭配更高效FFU、抽風(fēng)通道及酸堿隔離裝置，內部更潔凈。

4. 結構升級：底部龍門(mén)式Robot設計，運載更穩定，運動(dòng)部件產(chǎn)生的Particle可更快排出設備外。

5. 硅芯載體優(yōu)化，更穩定的結構，更小的接觸面積配合旋轉機構，清洗更徹底。

6. 制作升級：槽體及槽內零件多采用折彎制作工藝，減少犄角疙瘩及焊接內的藏污納垢。

7. 裝配升級：全設備設置在千級潔凈室生產(chǎn)。 

長(cháng)期以來(lái)，電子級硅芯硅料清洗設備市場(chǎng)份額都被外國廠(chǎng)商占有，捷佳偉創(chuàng )作為太陽(yáng)能光伏電池設備行業(yè)先進(jìn)企業(yè)及半導體設備制造商，堅持以研發(fā)制造先進(jìn)專(zhuān)業(yè)設備，推動(dòng)國內相關(guān)行業(yè)發(fā)展為己任。憑借雄厚的研發(fā)實(shí)力及近年來(lái)探索泛半導體行業(yè)裝備開(kāi)發(fā)經(jīng)驗，接連推出多款性能出眾、引領(lǐng)行業(yè)的清洗設備。此次電子級硅芯硅料清洗設備研發(fā)的過(guò)程中，研發(fā)人員攻堅克難，突破了諸多關(guān)鍵技術(shù)，為設備的成功研發(fā)奠定了堅實(shí)的技術(shù)基礎，并成為國內率先達到電子級標準的硅芯硅料清洗設備研發(fā)生產(chǎn)廠(chǎng)商。目前公司已實(shí)現表金屬0.5ppbw以上等級的電子級硅料批量出貨，2024第一季度將推出0.1ppbw以下的產(chǎn)品。 

未來(lái)，公司將繼續秉承“技術(shù)領(lǐng)先，管理領(lǐng)先，服務(wù)領(lǐng)先”的發(fā)展戰略，繼續精進(jìn)光伏電池生產(chǎn)設備及半導體濕法清洗設備研發(fā)，并向更廣闊的產(chǎn)品領(lǐng)域和更豐富的技術(shù)路線(xiàn)繼續發(fā)展，為客戶(hù)提供技術(shù)先進(jìn)、質(zhì)量過(guò)硬、服務(wù)周到的產(chǎn)品。