2023年6月29日-7月1日,中國國際半導體設備、材料、制造和服務(wù)展覽會(huì )(SEMICON China)在上海舉行,本次展會(huì )覆蓋芯片設計、制造、封測、設備、材料、光伏、顯示等全產(chǎn)業(yè)鏈,是全球規模最大、最具影響力的半導體專(zhuān)業(yè)展。國內外半導體產(chǎn)業(yè)的頂尖企業(yè)和專(zhuān)業(yè)人士匯聚申城,交流技術(shù)心得,共話(huà)行業(yè)發(fā)展。
公司子公司創(chuàng )微微電子(常州)有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“創(chuàng )微微電子”)自2020年9月成立以來(lái),專(zhuān)注于高端半導體濕法清洗設備制造,憑借國際化團隊和國產(chǎn)化制造,逐步得到業(yè)界及用戶(hù)的支持與認可。本次展會(huì ),創(chuàng )微微電子攜自主研發(fā)的先進(jìn)技術(shù)成果亮相SEMICON China,吸引了大批行業(yè)伙伴蒞臨創(chuàng )微微電子展臺參觀(guān)交流、洽談合作,并獲取多家意向訂單。
堅持國產(chǎn)化,成績(jì)斐然
公司錨定國產(chǎn)化戰略并堅持至今,目前在批次式濕法工業(yè)設備國產(chǎn)化推進(jìn)已是國內領(lǐng)先,整體國產(chǎn)化率高達90%。其自主研發(fā)的純水加熱器、Dryer、PTFE及PFA零部件、石英零部件、熱交換器、管路接頭等部件皆已實(shí)現自主研發(fā)、國內加工及合作開(kāi)發(fā),成功打破日韓壟斷地位。同時(shí),公司也帶領(lǐng)上下游零部件伙伴共同發(fā)展,幫助他們取得相關(guān)認證,成功替代美日設備,并已得到半導體行業(yè)頭部客戶(hù)認可。
軟件方面,目前公司軟件工程師占比30%,自編自設軟件系統,所有編程代碼均為自主持有,已完全擺脫國外廠(chǎng)商限制,可及時(shí)高效地為客戶(hù)量身定制工藝程序進(jìn)行生產(chǎn)制造。
進(jìn)軍12吋清洗設備,未來(lái)可期
公司持續加大研發(fā)投入,向高端清洗設備發(fā)展,正在研發(fā)28nm以下制程所需大型12吋清洗設備,主要包括Banch機臺(槽式機)與Single(單片機),將成為公司設備研發(fā)及國產(chǎn)化進(jìn)程的又一里程碑。