近日，由創(chuàng )微微電子（常州）有限公司研發(fā)生產(chǎn)的8吋Cassette-less清洗設備順利交付至上海積塔半導體有限公司并開(kāi)始驗證階段，運行情況良好。近期創(chuàng )微成功中標該客戶(hù)后續10余臺清洗設備重復訂單，制程涵蓋8吋至12吋。該批設備將用于集成電路前段濕法刻蝕、去膠、清洗以及后段金屬刻蝕、有機物去除相關(guān)工藝，標志著(zhù)創(chuàng )微在濕法清洗領(lǐng)域已達到國際先進(jìn)水平。

創(chuàng )微自2020年創(chuàng )立以來(lái)，依托捷佳偉創(chuàng )集團平臺，共享人才及技術(shù)，專(zhuān)注于整合國內外濕法技術(shù)與資源，引進(jìn)臺灣地區、韓國、日本等專(zhuān)家團隊。研發(fā)團隊攻堅克難，自主創(chuàng )新，在短短一年的時(shí)間里，先后推出4-8吋全自動(dòng)Cassette type清洗設備、8吋全自動(dòng)Cassette-less清洗設備及4-8腔Single tool清洗設備。成功導入青島芯恩、成都德州儀器、上海積塔等國內頭部芯片企業(yè)并獲得重復性訂單。同時(shí)強化軟件實(shí)力，協(xié)同國內多家供應商著(zhù)力開(kāi)發(fā)驗證關(guān)鍵零部件，取得了多項“卡脖子”技術(shù)的重大突破。

著(zhù)眼未來(lái)，公司已正式進(jìn)軍12吋高階Single及Wet bench設備領(lǐng)域，與國際一線(xiàn)大廠(chǎng)展開(kāi)直接競爭。在擴大設備應用面的同時(shí)，憑借高效能的自動(dòng)化設計，高產(chǎn)能的生產(chǎn)排程軟件，高穩定性的傳輸系統等技術(shù)，結合高質(zhì)量的品質(zhì)系統，為客戶(hù)進(jìn)行國產(chǎn)關(guān)鍵零部件的質(zhì)量把關(guān)，最終同廣大上下游廠(chǎng)商一道，共同為中國半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出更多貢獻。