深圳市捷佳偉創(chuàng )新能源裝備股份有限公司作為太陽(yáng)能電池設備的先進(jìn)企業(yè)，為實(shí)現產(chǎn)業(yè)結構優(yōu)化，提升公司在相關(guān)領(lǐng)域的自主創(chuàng )新能力和研發(fā)水平，順應產(chǎn)品發(fā)展路徑向半導體設備領(lǐng)域延伸，公司的全資子公司常州捷佳創(chuàng )精密機械有限公司于2019年成立了半導體濕法工藝研究室，集合國際團隊重點(diǎn)加強對集成電路濕法設備進(jìn)行研發(fā)。隨著(zhù)國家近年來(lái)對集成電路的支持力度不斷加強、市場(chǎng)的強勁需求、產(chǎn)品研發(fā)的推進(jìn)，常州捷佳創(chuàng )精密機械有限公司于2020年9月投資成立了創(chuàng )微微電子（常州）有限公司，專(zhuān)門(mén)從事集成電路濕法清洗工藝設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，設備主要包含槽式及單晶圓濕法清洗設備。

截至目前，公司已取得重要客戶(hù)在槽式濕法清洗設備上的批量訂單，并于2021年7月21日成功交付3套集成電路全自動(dòng)槽式濕法清洗設備至客戶(hù)進(jìn)行大批量生產(chǎn)。同時(shí)正在設計制造中的設備還包含了用于MicroLED、第三代化合物半導體及集成電路IDM廠(chǎng)的槽式清洗設備及相關(guān)附屬設備，涵蓋了集成電路200mm以下近70%濕法工藝步驟，包含有光刻膠去除、氧化膜刻蝕、金屬膜刻蝕、爐管前清洗及有機溶劑清洗等，擁有Cassette 與Cassette less 兩種類(lèi)型，覆蓋晶圓尺寸從100mm~200mm。

本次首批半導體清洗設備的成功交付，實(shí)現了公司在戰略路線(xiàn)上的再次超越，從光伏裝備設計及制造往泛半導體及半導體行業(yè)的拓展，也將成為國家集成電路裝備國產(chǎn)化新的主力軍。